1.符合申請資格之廠商，線上填寫計畫申請表及撰寫計畫內容 (Phase 1 以簡報格式申請/Phase2 及 Phase 2+以計畫書格式申請)，備妥「申請文件」應備文件資料並上傳電子檔，各項經費編列應符合會計科目與編列原則。
2.專案辦公室初步檢查申請資料，若有闕漏或錯誤，請依通知於 5個工作天內補齊或修正，逾期則退件。
3.依本須知規定備齊應備文件且經專案辦公室確認無誤後，將以電子郵件通知廠商。
4.廠商準備計畫簡報資料，並視需要準備補充資料，出席計畫審查會議進行簡報。
5.將計畫審查會議建議結論送交指導會議確認。
6.確認後之結果送交經濟部中小及新創企業署核定。
7.俟經濟部中小及新創企業署核定後，正式函知廠商審查結果。
8.核定通過之廠商辦理計畫簽約作業。